0755-83318988
半導體量測領域新增量測設備！中圖儀器無圖晶圓幾何量測系統正式發布
2024-02-29 在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點，往往需要對wafer進行厚度（THK）、翹曲度（Warp）、膜厚、關鍵尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量測，以及缺陷檢測等；用于檢測每一步工藝后wafer加工參數是否達到設計標準，以及缺陷閾值下限，從而進行工藝控制與良率管理。半導體前道量檢測設備，要求精度高、效率高、重復性好，量檢測設備一般會涉及光電探測、精密機械、電子與計算機技術，因此在半導體設備中，技術難度高。在wafer基材加工階段，從第一代硅，第二代砷化鎵到第三代也是現階...直播預告|DMP大灣區工博會11月27-30日盛大開幕，中圖儀器驚艷亮相
2023-11-22 年末大展，工業制造領域盛會-DMP大灣區工博會將于11月27-30日在深圳國際會展中心盛大開啟！12大展館，24萬平方米展出面積，2100余家展商向行業觀眾展示新技術、創新產品。中圖儀器為工業制造客戶提供全尺寸鏈精密測量儀器及設備，服務產業質量提升，助力裝備制造業高質量發展。本次工博會多款明星產品悉數亮相，讓廣大客戶近距離體驗國產先進尺寸測量儀器的魅力。DMP大灣區工博會時間：2023年11月27日-30日地點：深圳國際會展中心（寶安新館）展位：3號館3E05展品速遞部分客戶...國家重點“六自由度激光自動精準跟蹤測量關鍵技術”項目通過驗收
2023-09-28 9月26日，中圖儀器牽頭的國家重點研發計劃——“六自由度激光自動精準跟蹤測量關鍵技術”的項目綜合績效評價會議在深圳順利召開。本項目瞄準我國航空航天、汽車船舶、軌道交通、機器人、核電、大科學裝置等裝備制造領域對姿態測量傳感與測量系統的重大需求，自主研發的六自由度激光精準跟蹤測量系統，增加了我國核心測量儀器的自主可控能力。會議期間，專家組詳細審閱了項目相關材料、聽取了項目執行情況匯報，觀看了項目成果及應用情況視頻。經專家組質詢和討論，認為項目按時全面完成了任務書的4項課題研究內容...
當前位置：
新聞中心
三坐標測量儀
