智能化驅使下,中圖儀器光學3D成像測量技術的創新應用
2023-04-21
3D成像技術實現了二維到三維的升級。智能化制造下,具有3D成像功能的機器視覺系統可以更快,更準確地檢查生產現場的組件。其中表面形貌的3D測量,包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量,是微納結構測量最為基礎和重要的項目。目前常用的微結構表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運用非接觸式測量技術的3D光學檢測儀器,大多是基于光學方法(干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等),可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量,在微納米結構檢測中有著重要意義。...