WD4000無圖晶圓檢測機:助力半導體行業高效生產的利器
2023-10-26
晶圓檢測機,又稱為半導體芯片自動化檢測設備,是用于對半導體芯片的質量進行檢驗和測試的專用設備。它可以用于硅片、硅晶圓、LED芯片等半導體材料的表面檢測,通過對晶圓的表面特征進行全面檢測,可以有效降低產品的不良率,提高產品的穩定性和可靠性。一種晶圓表面形貌測量方法-WD4000無圖晶圓幾何量測系統WD4000無圖晶圓檢測機采用高精度光譜共焦傳感技術、光干涉雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立3DMapping圖,實現晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、...