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SuperVIewW納米級白光干涉三維形貌分析測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。

SuperViewW納米級白光干涉三維測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW三維形貌顯微白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌儀基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。典型結果包括表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。

中圖儀器SuperViewW白光干涉超精密工件表面3D形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

SuperViewW白光干涉微觀形貌及粗糙度儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。