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中圖光學3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣。

中圖儀器SuperViewW1輪廓尺寸測量儀器設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

中圖儀器SuperVieW3D表面粗糙度輪廓檢測儀基于白光干涉原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW白光表面3d輪廓儀的光學系統基于無限遠顯微鏡系統。通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉輪廓儀。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維光學輪廓儀基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，能以3D非接觸方式對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。