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SuperViewW國產(chǎn)3D光學表面輪廓儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器國產(chǎn)3d輪廓測量儀SuperViewW系列以白光干涉技術(shù)為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW白光三維光學輪廓測量儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW國產(chǎn)光學輪廓儀設備具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW快速聚焦光學三維3D輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸.

SuperViewW光學3D表面形貌儀廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。