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當前位置:首頁產品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀
導軌直線度激光干涉測量儀

產品簡介

SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

產品型號:SJ6000
更新時間:2025-04-08
廠商性質:生產廠家
訪問量:859
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中圖儀器SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點,具有實時性測量能力,能夠同時測量多個位置或參數,提高測量效率。

導軌直線度激光干涉測量儀


直線度測量原理

導軌直線度激光干涉測量儀

▲直線度測量的光路原理構建圖

直線度干涉鏡在移動過程中產生橫向或縱向位移時,兩束反射光會有相對應的光程差產生,SJ6000采集到該光程差的干涉信號,經過運算處理,即可得出對應的直線度值。


直線度測量配置及使用方法

直線度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態測量軟件等組件構成,可滿足±3mm范圍內的直線度測量。

導軌直線度激光干涉測量儀

▲運動軸的橫向直線度測量示意圖

導軌直線度激光干涉測量儀

▲運動軸的縱向直線度測量示意圖


直線度測量應用

導軌直線度激光干涉測量儀

▲SJ6000激光干涉儀測量導軌的直線度


SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。


產品功能

(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環境補償。

導軌直線度激光干涉測量儀


部分技術規格

穩頻精度0.05ppm
動態采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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