SJ6000高靈敏度超精密激光干涉儀是利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。它集光、機、電、計算機等技術于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

SJ6000高靈敏度超精密激光干涉儀在機床加工領域有著廣泛的應用。

工作原理

激光干涉儀利用激光光束的干涉原理來測量物體的形狀和表面的高度差異。其原理是基于兩束相干光在空間交叉的地方發(fā)生干涉，形成干涉條紋，通過測量干涉條紋的變化來推斷被測量物體的參數(shù)。

測量原理

激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù)；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復性。

2、激光干涉儀可以實現(xiàn)非接觸式測量，不會對被測量物體造成損傷。

3、激光干涉儀具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數(shù)，提高測量效率。

產(chǎn)品應用

激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，在機床加工領域有著廣泛的應用。

1.測量機床導軌的直線度和平行度。

導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時進行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續(xù)的機床調(diào)整和校準提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。