機床的定位精度和重復定位精度都是用激光干涉儀來檢測的。中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀是高精度線性位移測量儀器，采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

SJ6000機床激光干涉儀可以通過與不同的光學組件結合，對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現在所有類型數控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應用，具有更強的環境適應能力，同時可進行動態高速測量，配以相應元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

其線性鏡組應用于機器軸的定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等；也可用于機器軸的動態測量分析。

產品參數

產品型號： SJ6800

產品名稱： 激光干涉儀

穩頻方式： 激光雙縱模熱穩頻

穩頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量至大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

主要特點：絕對測量、恒測力、無阿貝誤差