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SuperViewW1輪廓粗糙度光學測量儀以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

中圖儀器二維輪廓測量儀集成表面粗糙度和輪廓測量的測量功能，它采用超高精度衍射光學測量系統、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能伺服驅動電機、高性能計算機控制系統技術，實現對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。

SuperViewW1輪廓度光學測量儀是以白光干涉技術為原理，能以亞納米級精度測量從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

SJ5780接觸式輪廓測量儀測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。可以全量程大范圍連續掃描，擁有長達數百毫米的持續爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉、

中圖儀器3D輪廓光學測量儀測量大尺寸樣品時支持拼接功能，將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

在同等系統放大倍率下，以白光干涉技術為原理的SuperViewW1三維光學輪廓儀的檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領域提供高精度檢測功能。