激光干涉儀是一種常用的實(shí)驗(yàn)室儀器，可以用于測(cè)量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理，利用激光源發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束，通過干涉產(chǎn)生干涉條紋來進(jìn)行測(cè)量。在激光干涉儀中，激光源會(huì)發(fā)出兩個(gè)頻率不同的激光束，其中一個(gè)激光束為參考光，另一個(gè)激光束則被用來測(cè)量待測(cè)物體的位移或形變。這兩束激光束會(huì)經(jīng)過分束器和反射鏡，最終在檢測(cè)器上產(chǎn)生干涉信號(hào)。

　　激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長度進(jìn)行度量的儀器。可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量，既可以對(duì)幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

　　為了保證激光干涉儀的正常運(yùn)行和精確測(cè)量結(jié)果，需要進(jìn)行定期的保養(yǎng)和維護(hù)。以下是激光干涉儀的保養(yǎng)技巧：

　　1、定期清潔：需要定期清潔，以保持其表面的清潔和光學(xué)部件的透明度。在清潔過程中，應(yīng)使用干凈的、柔軟的布或棉簽，避免使用刮刀或尖銳物品，以免刮傷或損壞光學(xué)部件。

　　2、保持干燥：需要保持干燥，以防止光學(xué)部件受潮或受損。在存放和使用過程中，應(yīng)避免暴露在潮濕的環(huán)境中，并注意防潮、防水。

　　3、校準(zhǔn)：需要定期校準(zhǔn)，以保證其測(cè)量精度和準(zhǔn)確性。在校準(zhǔn)過程中，應(yīng)按照操作手冊(cè)的要求進(jìn)行操作，避免誤操作或操作不當(dāng)。

　　4、避免過度使用：需要避免過度使用，以防止其部件磨損或損壞。在使用過程中，應(yīng)注意控制使用時(shí)間和頻率，并遵守操作手冊(cè)中的使用要求。

　　5、定期維護(hù)：需要定期維護(hù)，以保證其正常運(yùn)行和長期使用。在維護(hù)過程中，應(yīng)按照操作手冊(cè)的要求進(jìn)行操作，包括更換部件、加油、潤滑等。